단지소개
부산시 금정구 부산대학로 부산대학교內
장전단지 장비 구축 현황
제 1 클린룸
• 부산대학교 내에 위치한 부산테크노파크 장전단지 2층에 위치하고 있으며, 클린룸 면적은 485.7㎡로
화이트룸은 클래스100, 엘로우룸은 클래스 10으로 운영중
• 6인치(150mm) SiC 웨이퍼 앞면 가공 및 측정 장비 등 23종이 구축 및 운영 중에 있음
