장비안내



반도체 공정 장비  개별 장비 이용 가격임, 위탁생산은 협의에 따름

장비명
제조국
제조사
모델명
요율(건)
비고
1
고온이온주입기
일본 
ULVAC
IH-860PSIC
1,000,000
SiC 특화장비
2
고온어닐링기
일본
TYK
Ailesic-2000
800,000
SiC 특화장비
3
웻스테이션(세정)
대한민국
ULTECH
Aquachem-C
60,000

4
퍼니스(RTP)
미국
AG Associates
HEAT8108
60,000

5
건식식각기(SIC)
일본
SAMCO
RIE-800iPC
300,000
SiC 특화장비
6
스텝퍼
일본
Nikon
NSR-2005i10C
200,000

7
스퍼터
미국
AMAT
Centura5200
100,000

8
건식식각기(금속용)
미국
Lam Research
TCP9600SE
200,000

9
입자계수기
미국
KLA Tencor
Candela CS10
30,000

10
전계방출주사현미경
미국
TESCAN
S8000
100,000

11
웻스테이션(산화막)
대한민국
ULTECH
Aquachem-D
60,000

12
웻스테이션(유기물)
대한민국
ULTECH
Aquachem-E
60,000

13
트랙
대한민국
SVS
MSX-1000
60,000

14
박막두께측정기
대한민국
Ellipso Technology
Elli-SEU
30,000

15
마이크로스코프
일본
OLYMPUS
DSX510-ASU
10,000

16
면저항측정기
대한민국
AiT
CMT-SR2000N
40,000

17
퍼니스(D-Poly)
대한민국
P&T
PF-D63
300,000

18
퍼니스(SiO2)
일본
TYK
Ailesic-1500
500,000
SiC 특화장비
19
에셔
미국
Gasonic
PEP3510
30,000

20
플라즈박막측정기
미국
AMAT
P5000
100,000

21
푸면스퍼터
대한민국
LAT
LIS-150
200,000

22
두께측정기(Warp)
독일
FRT
MICROPROF-200
60,000

23
시디샘
일본
HITACHI
S-8820
100,000

24
후면그라인더
일본
DISCO
DGP-8761
600,000
SiC 특화장비
25
테스터
미국
Keysight
B1505
100,000

26
프로브
미국
Cascade
MAGIC A200e
300,000

27
웻스테이션(금속)
대한민국
ULTECH
Aquachem-H
60,000

28
레이저어닐
일본
SUMITOMO
SWA-20US-M
500,000
SiC 특화장비

신뢰성평가 장비  개별 장비 이용 가격임, 위탁시험은 협의에 따름

* 신뢰성평가 장비 이용 가격은 내부절차 완료 후 공개 예정