장비안내



반도체 공정 장비(28종)

웨이퍼 전면 가공장비

장전단지 23종

웨이퍼 후면 가공장비

장안단지 5종

신뢰성평가 장비(22종)

시뮬레이터

장안단지 1종

물리적분석 장비

장안단지 6종

환경시험 장비

장안단지 15종